TFT厂家需要什么品质的纯水!一般用什么设备?各设备怎么选型!!最近单位把我调到筹建,去审图!!大家指点指点!!
TFT厂家需要什么品质的纯水!一般用什么设备?各设备怎么选型!!
最近单位把我调到筹建,去审图!!
大家指点指点!!
2楼
您是哪里的呢?我是超纯水设备公司的(日本的某家),我们做了SVA-NEC还有BOE的纯水,所以有相应的技术能力,如果方便的话请把联系方法告诉我,直接发送给您的邮箱好了
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3楼
电阻率18.0以上足够了,TOC<30ppb,partical<10pc/ml;SiO2<20ppb;DO<100ppb;当然还有水压和水温、其它微粒子的浓度限制了,不过基本上述能达到的话,其它没什么问题的了
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4楼
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5楼
电阻率
25℃
MΩ*cm
硅
≤μg/L
铜
≤μg/L
锌
≤μg/L
镍
≤μg/L
钠
≤μg/L
钾
≤μg/L
氯
≤μg/L
>1μm颗粒
≤个/ml
细菌
≤个/ml
硝酸根
≤g/L
磷酸根
≤μg/L
硫酸根
≤μg/L
TOC
≤μg/L
EW-I
≥18*
2
0.2
0.2
0.1
0.5
0.5
1
0.1
0.01
1
1
1
20
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6楼
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7楼
TFT厂的话应该要分开讲,如果你是前段的话水质要求就高,如果是中后段的话水质要求就低很多,不能一概而论
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8楼
zds9701 发表于 2009-6-18 14:48 您是哪里的呢?我是超纯水设备公司的(日本的某家),我们做了SVA-NEC还有BOE的纯水,所以有相应的技术能力 …北京的BOE,还是合肥的BOE,还是????
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