超纯水中细菌对晶圆的影响
amanda-fangqing
2008年05月30日 13:56:40
来自于纯水系统
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请教各位高手一个问题,细菌不达标,会对产品有什么影响?

请教各位高手一个问题,细菌不达标,会对产品有什么影响?
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懒泉
2008年06月06日 16:04:47
2楼
如果你真的是FAB的超纯水,基本上已经超纯水系统报废了!细菌超标意味着有机物超标,晶园不可能有合格率
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amanda-fangqing
2008年06月13日 15:17:27
3楼
首先谢谢楼上的,我们是6寸线,对细菌的指标是0.1cfu/ml,检测结果是0.4cfu/ml,但似乎对晶圆没有产生影响。可能也存在送检过程中的污染。另外,还需要请教各位:1.细菌就是有机物,还是可以滋生为有机物?TOC不是代表总有机碳(有机物)的含量吗,是否TOC并不能说明有机物?
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tanoys
2008年06月13日 16:22:07
4楼
这样的应该有杀菌的吧,杀菌后还不合格吗?? 如果可以停机的话,管道彻底杀菌一次吧,用双氧水。
我公司销售阻垢剂,抛光树脂,以及各种水处理配件。

QQ 35243720 15605729666 T
www.purovida-china.com
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caomengkobe48
2008年06月17日 17:36:45
5楼
细菌时有机物的组成部分,toc就是总有机碳。
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