一、洁净室型式

非单向流洁净区；

单向流洁净区（水平、垂直流向）；

混合流洁净区环形/隔离装置

注：混合流洁净区是ISO标准提出的，即把实际早已存在的非单向流洁净室设置了局部的单向流的洁净工作台/层流罩，对关键部位进行“点”或“线”的保护，以减少单向流洁净区的面积。

二、洁净室构造简介

洁净室根据工艺特点进行布置，在满足使用前提下取经济合理性，可分为几下几类

1、开放式：用于工艺过程对各区洁净度等级需求差别不大的情况下：

优点：灵活性好，便于调整、变更、设计简单、空气处理系统单一。

缺点：高运行费用，对于单向流型回风通道占空间大。

2、套件式：各洁净区按工艺的工序及洁净度等级要求分隔与连通，并进行各区间的压差控制。

注：用于实验室类还是要求各自系统独立，不共享。

3、隧道式：是以“线”保护代替“面”保护的典型。

以两个层流处理区和其间的湍流处理区形成隧道式洁净环境的净化处理方式称为洁净室洁净隧道。它是结合了整体房间净化和局部净化的代表性净化方式，目前正在作为第三代净化方式进行推广。根据构成洁净隧道的设施不同，洁净室洁净隧道可分为以下几种形式：

1) 桌面洁净室Clean Tunnel

洁净室内的洁净隧道连接洁净工作台，去掉中间的侧壁，形成生产所需的隧道型生产线。如果您的洁净室工艺需要垂直层流，您可以选择垂直层流工作台。如果工艺需要水平层流，则选择水平层流工作台。与净化整个房间相比，更容易确保局部空间的高洁净度，而且由于工作台相互连接，可以减少或防止交叉污染。另外，对建筑的要求也比较简单，只有湍流的洁净室环境。缺点是由于洁净工作台尺寸固定，操作面不够灵活，洁净室工艺设备也必须与工作台尺寸相适应，调整起来不是很方便。

2)舱室洁净室洁净隧道

棚式洁净隧道是将洁净棚，即棚式垂直层流机组串联在一条生产线上而构成的。根据洁净室的技术要求，可以改变洁净棚的面积，使空气在室内充分流通，也可以接入集中净化空调系统吸收部分新鲜空气。棚屋式洁净室洁净隧道适用于安装大型工艺设备的场所。工业管线可明装，亦可暗装。

3)罩式洁净室洁净隧道

此类洁净隧道由层流罩组成，即在生产线上串联的罩式垂直层流单元。层流罩的深度小于洁净室的深度，因此只适用于工艺设备较小的洁净室。空气循环系统类似于棚屋式洁净隧道和桌式洁净隧道，是目前应用较广的一种用于洁净室的洁净隧道。

4)集中送风洁净室洁净隧道

集中送风洁净隧道由一个静压箱组成，上面覆盖着集中送风系统的高效过滤器。

这种洁净隧道的层流工作区宽度可根据洁净室工艺要求来确定，不像台面式、棚式、罩式洁净隧道那样有宽度限制。局部澄清器的尺寸减小了层流工作面积，使设计更加灵活。洁净室采用这种形式时，回风可通过技术通道或在湍流行为活跃区域设置沟槽。也可以将工业管道靠在洁净室工作区的墙壁上，并将排气管连接至排水沟。

4、微环形+开放式洁净室

5、模块化洁净室

框架：模块化硬墙洁净室的框架可选择不锈钢或铝合金。不锈钢防腐蚀且强度大，铝材则容易安装，外观突出；

吊顶：铝塑板质量轻，方便安装

墙体：透明亚克力板材强度高且价格便宜。防静电亚克力板材表面具有防静电的性能，适用于工艺需要防静电环境的洁净室。彩钢板则防尘及耐用。

FFU：采用优质、节能、低噪风机，或由客户指定品牌风机，如德国＊＊。外壳由镀铝锌板或不锈钢制成。

控制系统：控制系统通过PLC统一控制FFU，调节风速、压差、温湿度（若配套空调）。

以风机过滤单元（FFU）为核心构成的高洁净度受控环境，适合在现有普通或低洁净度厂房内，快速创建一片更高洁净度的空间。

灵活性：模块化洁净室可组装、拆卸和移动位置，而且能够随着洁净度或要求变化重新配置或升级；

价廉且安装快速：相比传统洁净室而言，模块化洁净室能在更短的时间内以更低的成本生产和组装。

独立结构：模块化洁净室能自由站立，无需吊装至屋顶。