纯水设备将原水通过多重过滤后产出超纯水，常用工艺包括四种，分别是预处理 单级RO EDI、分别是预处理 双级RO EDI、预处理 单级RO EDI 抛光混床、预处理 双级RO EDI 抛光混床，进一步提高水质，使得产水符合法规和出产工艺用水要求。

在超纯水的制备过程中，原水水质和工艺选择决定产水水质。最初，美国科技圈是为了研制超纯资料，通过各种“净化”手法或者超临界精细技能而得到了超纯水，如今随着技能晋级和改善，超纯水已经在众多职业得到广泛应用。超纯水的电阻率大于18MΩ*cm或接近于18.3MΩ*cm极限值，水中的导电介质几乎完全去除，水中不离解的胶体物质、气体、有机物等均被去除至很低含量，一般的工艺是很难达到这种程度。
纯水设备可全自动化操控，具有产水水质稳定、装置便利、操作快捷、节能环保、劳动强度低、运转费用低等多种长处，因此广泛应用于与水处理相关的职业。

应用领域包括：
1、电子职业：集成电路、显像管、线路板、电容器、电脑元件等。
2、电力职业：核电、光电、火力发电等。
3、半导体职业：半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体元件资料、半导体封装等。
4、新能源职业：光伏、微电子、太阳能、新能源等。
5、化工职业：化学药剂、化妆品、化工工艺用水等。
6、电镀用水：槽液用水、清洗工件用水等。
7、实验室用水：原子光谱、高效液相色谱、超纯物质剖析、痕量物质等实验

为保证超纯水设备功能、可靠性和耐用性，企业应对超纯水设备树立不间断的管理方法，并进行有方案的周期性保护和预防性保养。超纯水的出产选用连续“净化”工艺，因原水质量、运用用处及水质要求等要素不同，客户选用的“净化”工艺会有所不同。但每个“净化”工艺的功用缺失或功能衰减都会对终究的产水水质造成影响。