电子晶圆超纯水设备使用过程中，有时会发现超纯水设备出现了漏水的状况，很多人都不是特别的注意，认为是小问题，但是小问题慢慢的发展就会变成大的问题，漏水也要引起我们的注意，下面来介绍一下电子晶圆超纯水设备漏水了怎么办?

　　1、开通电源，注入水，看看究竟是哪里漏水。

　　2、检查管路是否存在漏水点。针对这个故障检查该设备的水路，查找漏水点。若不易查找，可用干燥的面巾纸检测。

　　3、看看设备内部零部件是不是上锈或者螺丝松动而造成的漏水现象。

　　以上就是对于电子晶圆超纯水设备漏水的原因介绍，希望对大家有所帮助，出现了问题就可以按照上述的方法来处理一下，及时的解决问题，不要影响设备以后的使用。