多晶硅超纯水设备出现故障时，我们应该从哪些方面进行排查呢?下面我们一起学习了解：

　　1、核实仪表操作：包括压力表、流量计、pH计、电导率计、温度计等，必要时重新校正。

　　2、重新检查操作数据：检验操作记录、通量及脱盐率的变化，考虑温度、压力、给水浓度、膜的年龄等对产量和脱盐率的影响。

　　3、评估可能的机械和化学问题：机械问题主要是O形圈的损坏、盐水密封的损坏、泵的损坏、管道和阀门的损坏、不精确的仪表等。化学问题一是酸添加的不适当，高剂量的酸会损坏膜或引起基于硫酸盐的结垢(若使用硫酸)，低剂量会导致碳酸盐或基于金属氢氧化物的垢或污染;二是阻垢剂添加的不适当，高剂量可能导致污染，低剂量可能导致结垢。

　　4、分析进料水化学条件的变化：将现行的进料水分析和设计时的基准数据相比较，进料水化学条件的变化会产生增添预处理或更新原有预处理设备的需求。

　　5、鉴定污染物：一是分析进料液、盐水和产品液的无机成分，总有机碳(TOC)、浊度、pH值、TDS、总悬浮固体(TSS)、SDI和温度，其中SDI、TSS和浊度的测定能提供微粒物质污染的依据，TOC的测定可预示有机物的污染倾向;二是浸渍和分析进料液筒过滤器(优先采用的方法)或SDI过滤器滤垫。

　　6、选择合适的清洗方案：在多晶硅超纯水设备清洗方案的选择中，应考虑以下因素：膜的类型和清洗剂选择的相容性，清洗设备的需求，系统的结构材料，污染物的鉴定等。