洁净厂房施工及质量验收（特种设施安装）

一般规定

一、本章适用于洁净厂房内的高纯气体供应设施、纯水供应设施、工艺生产用水设施、化学品供应设施的安装施工质量验收。

二、特种设施的安装施工应符合下列规定：

1 相关的土建工程应已验收合格，并应办理交接手续；

2 应按工程设计文件和相关设备出厂技术说明要求进行安装；

3 各种设备及其附件、材料应已进行现场检查、检验，并应符合工程设计和设备技术要求，同时应做好进场记录。

三、对气密性、渗漏性控制严格的特种设施的设备、附件等，安装前应检查密封状况，发现异常时，应与供货商共同检查，并应经确认不影响使用功能后再进行安装。

四、特种设施的承压设备、附件应具有压力试验、无损探伤等有效检验合格文件。无合格文件者，不得进行安装。

五、有爆炸危险或有毒的气体、液体、有机溶剂等相关的设备、附件应具有有效检验的合格文件，不符合规定者不得进行安装。

六、分类、分系统进行安装质量验收，宜与相关系统的试运转结合进行。

七、有防静电接地要求的设施，应在安装就位或系统管道安装完成后进行可靠接地。

高纯气体、特种气体供应设施安装

一、高纯气体、特种气体管道及其阀门、附件等的材质应符合工程设计文件的要求。采用低碳不锈钢管时，其安装施工应符合本规范第7．4节的规定。

二、管路系统的试运转应包括管路吹扫、气密性、泄漏性试验和纯度测试。

Ⅰ 主控项目

三、高纯气体、特种气体供应设施安装前，应按工程设计文件和产品说明书的要求，检查设备及填充的纯化材料、阀门和管件的完整性、密封性，并应做检查记录。

检查数量：按气体品种、分系统全数检查。

检验方法：观察检查、尺量。

四、纯化设备、特气柜的搬运、就位应符合下列规定：

1 搬入洁净室(区)前应进行清洁，符合要求后应从规定的设备搬入口运入；

2 整体设备搬运时，应按设备的构造、管道及阀门等附件的配置状况安全运输，不得倒置，并应可靠固定；

3 设备就位时，应按工程设计文件和产品说明书要求，做好接管、接线定位；

4 就位后，水、电接口应按工程设计文件要求连接；

5 气体管道接口应在分系统的气体输送管道安装试运转合格后再连接。

检查数量：按气体品种、分系统全数检查。

检验方法：观察检查、尺量。

五、高纯气体、特种气体系统的阀门箱、吹扫盘的安装应符合下列规定：

1 应检查箱体及箱内阀门、仪表和附件的完整性、密封性和合格证书等，并应做好记录；

2 安装位置应按工程设计文件、产品说明书要求进行，并应检查接管、接线方位的正确性；

3 气体管道接口应在所在系统试运转合格后再连接。

检查数量：按气体品种、分系统全数检查。

检验方法：观察检查、尺量。

六、高纯气体、特种气体设施施工安装试运转的纯度测试应符合下列规定：

1 纯度测试介质，宜采用工作气体进行。

2 测试气体的压力，宜与输送介质的设计压力相同。

3 测试气体的检测取样口或排气接口，应设在供气系统中要求气体纯度及其杂质含量最严格且距离最长的用气设备处。

4 纯度测试过程，取样时间的间隔宜为4h；气体样品应采用与输送介质纯度及允许杂质含量相应的精度等级的仪器进行分析。

5 当测试气体进、出口的纯度及其氧痕量、水痕量等杂质含量达到一致时，应认为纯度测试合格。

检查数量：按系统全数检查。

检验方法：仪器检查。

七、管路系统的试验应符合下列规定：

1 高纯气体、特种气体供应设施的强度试验、气密性试验和泄漏量试验及试验压力均应按工程设计文件要求执行。

2 试验气体宜采用无油干燥压缩空气或纯氮气或纯氦气；试验气体压力按规定逐步升至系统强度试验压力后，应保持10min，然后降压至气密性试验压力，检查接口、焊缝，应以不漏为合格。

3 气密性试验合格后，进行泄漏量试验，试验气体为纯氮或无油干燥压缩空气时，系统应以设计压力保持24h，检查泄漏率不超过0．5％为合格。采用氦气为试验气体时，系统应以设计压力保持1h，检查泄漏率不应超过0．5％为合格。不合格时，应检查原因并进行完善后，再进行泄漏量试验，直至合格为止。

4 管路系统的试验，不应包含纯化设备、特气柜和阀门箱等。

检查数量：按系统全数检查。

检验方法：观察检查、仪表检查。

Ⅱ 一般项目

八、管路吹扫应符合下列规定：

1 应按气体品种、工作参数分系统分别进行吹扫。

2 管路系统应采用0．3MPa～0．5MPa的无油干燥压缩空气或纯氮进行吹扫，吹扫气体应设置过滤精度严于0．3μm的气体过滤器去除微粒；对输送可燃气体的管路宜采用纯氮吹扫。

3 在管路系统吹扫气体排出口设靶检查，应以靶上未见微粒为合格；对输送可燃气体的管路系统，应以排出口吹扫气体中含氧量小于1％为合格。

检查数量：按系统全数检查。

检验方法：观察检查、仪表检查。

纯水供应设施安装

一、纯水供应设施安装前，应按工程设计文件和产品说明书的要求检查、核对设备及填充的材料、阀门和管件的完整性、密封性，并应做好检查、核对记录。

二、纯水管道及其阀门、附件的材质，应按工程设计文件和产品生产要求进行选择。

Ⅰ 主控项目

三、单体设备的搬运、就位应符合下列规定：

1 搬入洁净室(区)内的单体设备，应进行清洁后再搬入；

2 装有填料或元件的单体设备，应按要求的方向进行搬运、就位，不得倒置；

3 单体设备就位时，应按工程设计文件和产品说明书要求进行定位。

检查数量：全数检查。

检验方法：观察检查、尺量。

四、洁净室(区)内纯水末端处理设备的安装应符合下列规定：

1 设备搬运、就位应符合本规范第12．3．3条的要求；

2 纯水管道接管，应在纯水系统安装后经试验及试运转合格后连接；

3 接管、接线后，应按工程设计文件和产品说明书进行试运转。

检查数量：全数检查。

检验方法：观察检查。

五、药品和保健品等生产用纯水系统的安装应符合下列规定：

1 设备搬运、就位应符合本规范第12．3．3条的要求；

2 应根据使用特点和工程设计文件要求选择管路材质、阀门、附件，并不得对水质产生污染和引起腐蚀或损伤；

3 系统安装完成后，应按规定进行试验、试运转，合格后按使用要求进行清洗或消毒灭菌，达到规定指标后，宜循环待用。

检查数量：全数检查。

检验方法：观察检查。

Ⅱ 一般项目

六、管道系统的试验、试运转应符合下列规定：

1 管道系统的试验应按工程设计文件要求进行水压试验，其试验方法应符合现行国家标准《工业金属管道工程施工规范》GB 50235的有关规定；

2 管道系统的试验、试运转，不宜包括末端处理装置；

3 试验合格后，应以同等水质的纯水进行清洗，直至在管路末端无杂质、无污染物为合格；

4 有特殊要求的纯水系统，应按设计要求进行脱脂、清洗、钝化，并应按规定进行消毒灭菌；

5 纯水水质试验，应以本系统同样水质的纯水进行试验，水质分析采样口应为水质要求最严格且距离最长的用户末端处：取样时间间隔应为2h～4h，应以系统的始端、末端的水质相同为合格。

检查数量：全数检查。

检验方法：观察检查、仪器检测。

七、管道清洗应符合下列规定：

1 管道清洗先以清洁水冲洗，末端检查无杂物后，应以同等水质的纯水清洗；

2 清洗时，应关断所有接至单体设备的阀门，管道系统的过滤器滤芯应卸下，并应待清洗合格后原样恢复。

检查数量：按系统分别检查。

检验方法：观察检查。

化学品供应设施安装

一、本节适用于洁净厂房中工业产品生产所需的酸、碱、有机物质等化学品供应设备、输送管路系统的安装施工质量验收。

二、化学品供应设施安装前，应按设计文件和产品说明书的要求检查设备、容器、阀门和附件的完整性和密封性等，并应做检查记录。

三、化学品供应设施中的各类泵的安装施工，应符合现行国家标准《风机、压缩机、泵安装工程施工及验收规范》GB 50275的有关规定。

Ⅰ 主控项目

四、洁净室(区)内化学品输送管道系统的阀门箱的安装应符合下列规定：

1 应检查箱体及箱内阀门、仪表和附件的完整性、密封性和合格证书，并应做好检查记录；

2 就位安装应按工程设计文件、产品说明书要求进行，并应检查接管、接线方位的正确性；

3 各种管道的连接应在所在系统吹扫或清洗合格后进行。

检查数量：各阀门箱全数检查。

检验方法：观察检查。

五、化学品供应设施的容器、管道及其阀门、附件的材质应符合工程设计文件要求。

检查数量：各类设施全数检查。

检验方法：观察检查。

Ⅱ 一般项目

六、容器的搬运、安装就位应符合下列规定：

1 搬入洁净室(区)前应进行清洁，并应符合要求后从规定的搬入口运入；

2 容器搬运应根据容器结构、规格尺寸及接管配置状况，进行固定，不得倒置；

3 就位前，应检查基础平整度、高度，基础表面的水平度不应大于2％，标高偏差不应大于2mm；

4 容器各接管中心与基础面上的基准线对准、测量，其允许偏差不应大于3mm；

5 容器安装就位后的垂直度不应大于2‰。

检查数量：各类容器全数检查。

检验方法：观察检查、尺量。

七、化学品供应设施的低碳不锈钢管、PE管、PVDF管等的管道系统安装施工应符合本规范第7章的有关规定。

检查数量：符合本规范第7章的有关规定。

检验方法：观察检查、尺量。

八、管道吹扫或清洗应符合下列规定：

1 应按各种化学品供应系统，分别在安装完成后分系统进行吹扫或清洗。

2 吹扫或清洗宜采用干燥压缩空气或纯氮或清洁水，吹扫介质压力应为0．2MPa～0．3MPa，吹扫管道应设置过滤精度严于0．3μm的过滤器。

3 吹扫清洗时，应关断所有接至各类容器的阀门；管道系统的过滤器滤芯，流量计应卸下，并应待吹扫后按原样恢复。

4 各系统的吹扫应反复多次进行，吹扫时间不宜少于2．0h，并应以湿的白色滤纸或白布或涂有白色漆的靶板放在吹扫气排出口，经5min后检查微粒状况。不合格时，应继续吹扫，直至合格。

检查数量：按系统分别全数检查。

检验方法：观察检查、仪表检查。

九、管道系统的试验、试运转应符合下列规定：

1 管道系统的试验应按工程设计文件要求进行强度试验、气密性试验，金属管道的试验方法可按现行国家标准《工业金属管道工程施工规范》GB 50235的有关规定执行。

2 管道系统的试验、试运转，不宜包括各类容器、泵类等设备。

3 承压管道应进行强度和严密性试验，强度试验的试验压力应为设计压力的1．5倍，严密性试验的试验压力应为设计压力的1．15倍。非承压管道应进行满水试验。

4 试验合格后，应以纯水或氮气进行清洗吹扫，并应直至末端无杂质、污染物为合格。