目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质，同时伴有对硅、尘粒、有机碳、微生物等物质含量的要求各不一。半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高。

　　电子行业用超纯水设备适用行业

　　1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;

　　2、超纯材料和超纯化学试剂;

　　3、实验室和中试车间;

　　4、汽车、家电表面抛光处理;

　　5、光电产品、液晶显示器

　　6、其他高科技精微产品;