洁净室（CleanRoom），亦称无尘车间、无尘室或清净室。是指一个具有低污染水平的环境，这里所指的污染来源有灰尘，空气传播的微生物，悬浮颗粒，和化学挥发性气体。更准确地讲，一个净室具有一个受控的污染级别，污染级别可用每立方米的颗粒数，或者用最大颗粒大小来厘定的。低级别的净室通常是没有经过消毒的（如没有受控的微生物），更多的是关心空气传播的灰尘。净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业，例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、医院等行业等，其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内，才不会对制程产生影响。作为生产设施，净室可以占据厂房很多位置。

洁净室的四大技术要素：

一、 送风至少经过三级过滤（粗效、中效和高效），并且高效过滤器应设置在系统的末端。

二、 洁净室应有足够的净化和空调的送风量。

三、 洁净室应维持必要的压力梯度（正压梯度或负压梯度）。

四、 洁净室应有合理的气流组织。

洁净室的分类：

按气流流型洁净室可划分为：单向流洁净室；非单向流洁净室；混合流洁净室；矢流洁净室。

单向流洁净室：

单向流（层流）洁净室，其中又分垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室。

单向流气流的净化原理是活塞和挤压原理，把灰尘从一端向另一端挤压出去，用洁净气流置换污染气流。包括有垂直单向流和水平单向流。

垂直单向流是气流以一定的速度(0.25m/s?0.5m/s)从顶棚流向地坪的气流流型。这种气流能创造100级、10级、1级或更高洁净级别。但其初投资很高、运行

费很高.工程中尽量将其面积压缩到最小.用到必须用的部位。

水平单向流是气流以一定的速度(0. 3m/s~0. 5m/s)从一面墙流向对面的墙的气流流型。该气流可创造100级的净化级别。其初投资和运行费低于垂直单向流流

型。

非单向流洁净室：

非单向流洁净室的气流流型又可分为顶送下回；顶送下侧回；顶送顶回等。

非单向流气流的净化原理是稀释原理。一般型式为高效过滤器送风口顶部送风；回风的型式有下部回风、侧下部回风和顶部回风等。依不同送风换气次数，实

现不同的净化级别，其初投资和运行费用也不同。

混合流洁净室：

混合流气流是将垂直单向流和非单向流两种气流组合在一起构成的气流流型。这种气流的特点是将垂直单向流面积压缩到最小，用大面积非单向流替代大面

积单向流以利节省初投资和运行费。

矢流（对角流）洁净室：

选上侧圆弧型高效过滤器风口送风，对侧下回风口回风的气流流型。

矢流洁净室的气流是以放射型的流线流出,流线之间没有竖向交叉，可用相对少量的送风获得较高级别的洁净度。多用在医药、医疗和电子等行业的小洁净室史。在某些特殊的实验室中也得到广泛的应用。

各种气流流型洁净室的风置、冷置、初投资和运行费的比较（仅供参考）

不同洁净级别洁净厂房的送风量、冷量投资耗电的指标

按洁净室主要控制对象划分洁净室又可划分为：工业洁净室；生物洁净室。

工业洁净室：

工业洁净室主要的控制对象是灰尘粒子（不分有生命的、无生命的）。工业洁净室主要应用在电子、航天、航空、机械、化工、化学制药、能源、纳米等工业中。尤其是电子工业和光电子工业更是离不开洁净室和洁净技术。

生物洁净室：

生物洁净室主要控制对象是有生命的、活的微生物粒子，如病菌、病毒等对人类、动物、环境有害的粒子。

生物洁净室广泛地应用在医疗（洁净手术室、洁净病房）、生物制药、实验动物饲养、生物安全实验室、卫生防疫检疫的事业中。生物洁净室的发展速度非常快，

而且得到了各方的认同和重视。

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